5m/s속도의 Shuttle로 구축!
반도체 웨이퍼 팹(FAB)의 “먼지 없는 하늘” 아래, 정밀 트랙이 교차하고 지능형 “항공 특급 열차”인 OHT(오버헤드 호이스트 운송) 핸들링 시스템이 최대 5m/s(18km/h)의 속도로 셔틀링합니다. 이 시스템은 고도로 조율된 공중 물류 네트워크와 같이 각 공정 장비에 정확하게 도달하고, 귀중한 웨이퍼의 효율적인 공정흐름을 제공하면서, 300mm 및 미래 팹(FAB)의 필수적인 “동맥”이 되고 있습니다.
시스템구축의 필요조건
1. 제한된 공간에서의 최대하중 확보
: OHT 트롤리(VHL)의 내부 공간은 매우 중요하며, 컴팩트한 레이아웃으로 최대 하중 용량을 확보해야 하고, 구동 부품은 매우 작고 가벼워야 합니다.
2. 안정성 확보
: 웨이퍼는 고가이며, 갑작스러운 경보로 인한 비상 정지는 치명적인 손실을 초래할 수 있습니다. 서보 시스템은 매우 높은 신뢰성과 7×24시간 안정적인 작동을 보장해야 합니다.
3. 효율성 확보
: 디버깅은 민첩해야 합니다. 공장 시운전 및 유지보수는 매 순간이 중요하며, 서보 시스템의 사용 편의성과 신속한 디버깅은 전반적인 운영 효율성에 직접적인 영향을 미칩니다.
Servotronix의 해결방안
Solution의 주요 특징
소형화 및 경량 설계를 자랑하는 BD3E 시리즈 서보 드라이브와 PH3E 시리즈 고출력 모터는 OHT 트롤리 내부의 초소형 기계 레이아웃에 완벽하게 적합합니다.소형화된 크기는 OHT가 설계를 최적화하고, 더 많은 웨이퍼 박스(FOUP) 또는 핵심 자재를 운반하며, 단일 핸들링 효율을 크게 향상시키고 공간 활용도를 극대화할 수 있음을 의미합니다.
탁월한 간섭 방지 성능과 매우 높은 작동 안정성을 제공하여 오작동을 효과적으로 방지하고 서보 시스템 이상으로 인한 예기치 않은 비상 정지 위험을 제거합니다. 강력한 최대하중 용량과 완벽한 보호 메커니즘은 시스템이 장기간 고부하 및 고주파 시동-정지 작동 조건에서도 7×24시간 연속 작동에 대한 걱정 없이 안정적이고 신뢰할 수 있도록 보장하여 귀중한 웨이퍼를 안전하게 보호합니다.
직관적인 디버깅 소프트웨어와 사용자 친화적인 인터페이스는 OHT 장비의 설치, 디버깅 및 유지 보수 시간을 크게 단축합니다.
풍부한 진단 기능과 매개변수화된 관리 기능을 통해, 운영자 및 유지 보수 담당자는 문제를 신속하게 파악하고 시스템의 전반적인 가용성을 향상시키며 반도체 생산 라인의 효율적이고 원활한 운영을 보장합니다.
선형 트랙에서 5m/s의 고속 작동을 안정적으로 구현하여 웨이퍼 팹 내부 및 전체의 물류 효율성을 크게 향상시킵니다.
복잡한 곡선 트랙과 정밀한 도킹 위치에서도 부드럽고 매끄럽고 진동이 적은 가속 및 감속 제어를 통해 원활한 웨이퍼 운송을 보장합니다.
탁월한 안정성과 신뢰성은 공중 물류 네트워크에 견고한 “안전 방패”를 구축하는 것과 같습니다. 중앙 제어 시스템(OHTC)은 전체 상황을 더욱 차분하게 전달하고, 오버헤드 운송의 흐름을 실시간으로 최적화하며, 대기 시간을 단축하고, 더욱 스마트하고 효율적인 웨이퍼 팹 물류 시스템을 구축할 수 있습니다.